Modelul: JXA-8230
producător: JEOL
Accesorii: Spectrometru (*3), Spectrometru energetic (*1)
Elemente de analiză: B-U
Rezoluţie: 3nm

Sonda electronică este un instrument care utilizează razele X caracteristice generate după eșantioanele de acțiune a fasciculului de electroni pentru analiza compoziției microzonei, care poate fi folosită pentru a analiza compoziția chimică a microzonelor minerale din folii subțiri. În afară de câteva elemente ușoare, cum ar fi H, He, Li și Be, pot fi analizate calitativ și cantitativ, în afară de elementele de după elementul U. Se pot efectua analize punctuale, lineare și faciale.

Exemplu: Măsurarea distribuției de suprafață a pulberii de baterie EPMA