Membru VIP
Microscop electronic de scanare cu emisie de câmp cu rezoluție ultraînaltă Seria SU8600
Odată cu dezvoltarea rapidă a tehnologiilor de colectare și prelucrare a datelor, microscopul electronic a intrat într-o eră care acordă importanță nu
Detaliile produsului
Microscop electronic de scanare cu emisie de câmp cu rezoluție ultraînaltă Seria SU8600
Odată cu dezvoltarea rapidă a tehnologiilor de colectare și prelucrare a datelor, microscopul electronic a intrat într-o eră care acordă importanță nu numai calității datelor, ci și procesului lor de colectare. Seria SU8600 se bazează pe imaginile de înaltă calitate, analiza fluxului mare și tehnologia de imagini în câmp rece pentru funcționare stabilă și lungă, în timp ce îmbunătățește în mod semnificativ capacitatea de obținere automată a datelor cu flux ridicat.
- *
- Fotografiile dispozitivului includ opțiuni.
-
Caracteristici
-
Specificații
Caracteristici
Caracteristici
Imagini cu rezoluție ultra-înaltă
Sursa electronică de înaltă luminozitate Hitachi garantează o rezoluție ultra-înaltă a imaginilor chiar și la tensiuni de aterizare ultra-scăzute.
Un exemplu de zeolit RHO observat în condiții de tensiune de 0,8 kV. Figura din stânga reprezintă forma întregii particule, iar imaginea din dreapta reprezintă o imagine mărită, iar structura subtilă de trepte a suprafeței particulei este clar vizibilă. Observarea tensiunii scăzute este eficientă pentru reducerea leziunilor fasciculului de electroni și pentru obținerea informațiilor despre forma suprafeței.
Eșantionul furnizat de: Institutul Japonez de Cercetare Industrială și Tehnologie
Imagine de înaltă dispersie de tensiune scăzută de accelerare
Observații 3D NAND;
În condiții de tensiune scăzută de accelerare, semnalele electronice retrodifuzate pot arăta în mod evident diferența de căptușire între stratul de oxid de siliciu și stratul de nitrură de siliciu.
Observare 3D NAND (tensiune de accelerare: 1,5 kV)
Imagine rapidă a BSE: noul detector de electroni cu dispersie spatială a corpului sclipitor (OCD)*
Datorită noului detector OCD, imaginile structurale profunde clare Fin-FET pot fi observate chiar dacă scanarea durează mai puțin de o secundă.
Observarea structurii interne a SRAM de 5 nm (tensiune de accelerare: 30kV, timp de scanare < 1 secundă)
Automatizare avansată*
EM Flow Creator permite clienților să creeze fluxuri de lucru automatizate pentru colectarea continuă de imagini. EM Flow Creator definește diferite funcții SEM ca module grafice, cum ar fi setarea măririi, mutarea poziției eșantionului, reglarea distanței focale și a contrastului luminos și întunecat. Utilizatorul poate trage aceste module într-un program de lucru în ordine logică cu un mouse simplu. După depanare și confirmare, programul obține automat date de imagine de înaltă calitate și reproducibile la fiecare apel.
Interfață flexibilă de utilizator
Suport nativ pentru ecrane duble, oferind un spațiu de operare flexibil și eficient. 6 canale sunt afișate și salvate simultan pentru a permite observarea și captarea rapidă a semnalelor multiple.
Semnalele de 1, 2, 4 sau 6 canale pot fi afișate simultan pe același ecran, incluzând detectoarele SEM, camera de probă și camera de navigație. Spațiul de lucru poate fi extins prin utilizarea a două ecrane și interfața de utilizator poate fi personalizată pentru creșterea productivității.
Specificații
| Modelul | Seria SU8600 | |
|---|---|---|
| Sisteme electronice optice | Rezoluţie electronică secundară | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Mărire | 20 to 2,000,000 x | |
| Arma electronică | Sursă electronică cu emisie în câmp rece, care suportă funcția de climpiere flexibilă și include un sistem de coacere cu anod. | |
| Tensiunea de accelerare | 0.5 to 30 kV | |
| Tensiunea de aterizare | 0.01 to 20 kV | |
| Detector | (parțial opțional) | Detector superior (UD) |
| Filtru de energie UD ExB cu amestec de semnale SE/BSE | ||
| Detector inferior (LD) | ||
| Detector de vârf (TD) | ||
| Filtru de energie TD | ||
| Detector electronic de difuzie spate în oglindă (IMD) | ||
| Detector electronic cu difuzie inversă semiconductor (PD-BSED) | ||
| Noul detector de electroni cu difuzie retrospectivă (OCD) | ||
| Detector fluorescent cathodic (CLD) | ||
| Detector de transmitere prin scanare (STEM) | ||
| Accesorii | (parțial opțional) | Camera de navigare, camera de probă, spectrometru de energie cu raze X (EDS), detector de difrație electronică cu difuzie înapoi (EBSD) |
| Software-ul | (parțial opțional) | EM Flow Creator, Captura HD (până la 40.960 x 30.720 de pixeli) |
| Eșantioane | Axul motorului | Motorul cu 5 axe (X/Y/R/Z/T) |
| Axul motorului | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Cameră de eșantioane | Dimensiune eșantion | Diametrul maxim: 150 mm |
- *
- În modul de încetinire
Categorii de produse asociate
- Sistem de fascicul ionic focalizat (FIB/FIB-SEM)
- Dispozitiv de prelucrare a eșantioanelor TEM/SEM
Cerere online
-
Contacte
-
Companie
-
Telefon
-
Email
-
WeChat
-
Codul de verificare
-
Conținut mesaj
-