1Caracteristici tehnice

lMicroscopul binocular cu mare mărire și22LCD-ul cu ecran larg de inch monitorizează procesul de aliniere în același timp și oferăUSBexportul; Pentru alinierea de înaltă precizie și pentru detectarea rezultatelor de expunere și depozitare ușoară

lUtilizarea iluminării inverse, înlocuirea lămpii cu mercur este mai ușoară, răcirea căldurii și scurgerea de lumină sunt mai bune

lAliniarea și expunerea funcționează în două stații, cu comutare automată în două stații

lUtilizarea unui computer încorporat+Funcționarea ecranului tactil, operarea mai ușoară și mai elegantă

lSusținerea și deschiderea, versiunea este foarte ușoară, gradul ridicat de automatizare și operare ușoară. Cercetare științifică pentru învățământul universitar (fiabilitate bună, demonstrare ușoară) și fabrici(Eficiență ridicată)Mai potrivit

2Parametrii tehnici

lZona de expunere:100mm×100mm(poate fi actualizată la6inci)

lLungimea de undă a expunerii:365nm

lRezoluţie:≤1mm(grosimea lipicii)1.5 mmAdeziv)

lPrecizie de aliniere:±0.6mm

lDomeniul de mișcare al microscopului:X：10mm;Y:10mm

lDimensiuni mască:2.5inci,3inci,4inci,5Inchi

lDimensiunea probei: diametruf15mm--f100mm(filme neregulare)

Grosimea0.1mm--6mm

lMod de expunere: Timing (numărătoare inversă) şi doză fixată

lCu expunere la contact cu vid, expunere la contact durLumină4 funcții de expunere la presiune și expunere de apropiere

lInuniformitatea iluminării: 3%（f100mmDomeniul de aplicare)

lMicroscopul de aliniere cu câmpul de vedere dual: poate fi folosit atât prin ochelarivizualăAlinează, poate treceCCD+Aliniarea ecranului, imagini optice, multiplicator optic maxim400dublu, optică+Amplificare electronică800De două ori

Trei obiective:4de două ori,10de două ori,20De două ori

Trei perechi de ochelari:10de două ori,16de două ori,20De două ori

lReglarea presiunii de contact asigură repetarea prin senzor

lSetarea digitală a intervalului de aliniere și a intervalului

lCu interfață modulară de imprimare și aproape de interfață modulară

lMasca în raport cu cursul de mișcare specimen:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lGrosimea maximă:400mm（SU8Adeziv, utilizatorul oferă condiții de testare)

lParalelitatea sursei de lumină:3?

lDensitatea energiei de expunere:>25mW/cm2,Temperatura suprafeței de iluminat<35?C

lExpunere unică cu un singur clic

lUtilizarea balonului plutitor+Trei unghere pentru plat

lPuterea luminii cu mercur:350W(curent direct,Import）

3Dimensiuni exterioare:1400mm(lungă)?900mm(Lățime)?1500mm(Înălțime)

4Configurare

（1(Expunerea capului)

lElipscop cu lumină rece

l350WLămpi de mercur de înaltă presiune de curent continuu importate(Osram, Germania)

lXYZRegulator de lumină cu mercur

lVentilator de răcire

lSisteme optice: bare de lumină fixă, bare de lumină variabilă, obturator, oglindă orizontală1Oglindă directă2Grupul de lentile cu ochi de mușcă (79lentilă),iFiltre de linie, oglinzi de câmp, reflectoare de lumină rece1oglindă reflectoare2

（2(Aliniarea locului de lucru)

lBaza mașinii de gravură

lStația de comutare (cilindru)

lMască prototip întregul sport de masă

lMască specimen de masă relativă

lMesă rotativă

lAgenția de reglare a mostrelor,3 Completare automată

lMecanismul de reglare a modelului, reglarea automată a motorului

lMecanismul de extracție de bază sus și jos

lStudioul4Unul:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(poate fi redusă la cererea utilizatorului)

lMască clip4Unul:2.5inci,3inci,4inci,5Inchi (poate fi redus la cererea utilizatorului)

lMecanism de extracție de probe sus și jos

（3(Aliniarea microscopului)

lsursă de lumină, Alimentare electrică

lObiectivul microscopului de aliniere cu câmpul de vedere dublu

lOchelari3Da.10de două ori,16de două ori,20De două ori, total6unul)

lObiectiv3Da.4de două ori,10de două ori,20De două ori, total6unul)

lCCDsistemul de aliniere,22Monitor LCD inch

（4Sistem de control electronic

lLumina de mercur declanșează alimentația(350WLampa de mercur în curent continuu)

lSistem de control cu un singur chip

lPanoul de control

lBirou de control

（5Sisteme pneumatice

lCilindri, supape electromagnetice, supape de reducere a presiunii, comutatoare pneumatice etc.

lConducător electromagnetic

lInstrumente pneumatice

（6Alte anexe

lO pompă de vid

lUn compresor de aer

lTubulare de interfață

（7(Informații tehnice)

lInstrucțiuni de utilizare pentru reparații

lCertificat de inspecție a produsului