Caracteristicile tehnice ale mașinii de gravură ultravioletă de adâncime URE-2000/17:
Aliniarea cu microscop binocular; Balonul cu mingi reglat, controlul mașinii cu un singur chip, comutatorul tactil, operarea ușoară și utilitatea puternică.
1Parametrii tehnici
lZona de expunere:4Inchi
lLungimea de undă a expunerii:365nm
lRezoluţie:1.5mm(grosimea lipicii)2 mmAdeziv)
lPrecizie de aliniere:±1mm
lGama de mișcare generală a modelului de mască:X:15mm;Y:15mm
lDimensiuni mască:2.5inci,3inci,4inci,5Inchi
lDimensiunea probei: diametruf15mm--f100mm
Grosimea0.1mm--6mm(Se poate extinde la15mm)
lMod de expunere: Timing (numărătoare inversă) şi doză fixată
lInuniformitatea iluminării: 5%(f100mmDomeniul de aplicare)
lMicroscopul de aliniere cu câmpul de vedere dual: poate fi folosit atât prin ochelarivizualăAlinează, poate treceCCD+Aliniarea ecranului, imagini optice, multiplicator optic maxim400dublu, optică+Amplificare electronică800De două ori
Trei obiective:4de două ori,10de două ori,20De două ori
Trei perechi de ochelari:10de două ori,16de două ori,20De două ori
lMasca în raport cu cursul de mișcare specimen:
X:±5mm; Y:±5mm;q:±6gradul
lPuterea luminii cu mercur:200W(curent direct)
lDensitatea energiei de expunere:6mW/cm
2Dimensiuni exterioare:650mm(lungă)?600mm(Lățime)?900mm(Înălțime)
3Configurare
(1(Expunerea capului)
l200WLămpi de mercur de înaltă presiune de curent continuu importate(Osram, Germania)
lXYZRegulator de lumină cu mercur
lSisteme optice
lVentilator de răcire
(2(Aliniarea locului de lucru)
lMască prototip întregul sport de masă
lMască specimen de masă relativă
lMesă rotativă
lAgenția de reglare a mostrelor,manual
lMecanismul de focalizare, manual
lStudioul3Unul (f50mm、?75mm、?100mm)
lMască clip4Unul (2.5inci,3inci,4inci,5inci)
lMecanismul de extracție a măștii sus și jos
(3(Aliniarea microscopului)
lSurse de lumină (accesorii)2numai), puterea
lObiectivul microscopului de aliniere cu câmpul de vedere dublu
lOchelari3Da.10de două ori,16de două ori,20De două ori, total6unul)
lObiectiv3Da.4de două ori,10de două ori,20De două ori, total6unul)
lCCD(din Taiwan)
l21Monitor LCD inch
(4Sistem de control electronic
lLumina de mercur declanșează alimentația(200WLampa de mercur în curent continuu)
lSistem de control cu un singur chip
lCaseta de control
(5Sisteme pneumatice
lCilindri, supape electromagnetice, supape de reducere a presiunii, comutatoare pneumatice etc.
lConducător electromagnetic
lInstrumente pneumatice
(6Alte anexe
lO pompă de vid
lconductă
(7(Informații tehnice)
lInstrucțiuni de utilizare pentru reparații
lInstrucțiuni de utilizare a microscopului
