• Precizie ridicată ±1,0% punct de setare
  Liniaritatea acestui controller de flux de masă este compensată de curba de aproximare multinomială și realizează o precizie ridicată în cadrul domeniului de control al fluxului. Pentru a îmbunătăți precizia efectivă a gazelor, datele de calibrare pentru diferitele gaze de proces sunt măsurate de sistemul standard de măsurare a gazelor HORIBA STEC.
• Răspuns de mare viteză
  Sistemul PID variabil asigură un răspuns de 1 secundă între oricare dintre cele două puncte de setare. PID-ul variabil se schimbă în mod constant în funcție de setările punctului de flux. Optimizarea coeficientului PID atunci când fluxul și gazele se schimbă la scară completă.
• Soluții multigazoase/multidimensiuni
  Software-ul de configurare permite schimbarea rapidă și ușoară a specificațiilor. O caracteristică importantă este că modificările pot fi efectuate fără a fi necesare demontarea controlorului de flux de masă din panoul de control al gazelor sau din conducte. Reduceți numărul de controlere de flux de masă de rezervă necesare pentru a economisi timp și costuri.

Controlorul de flux de masă SEC-Z500X este potrivit pentru o gamă largă de aplicații și pentru fabricația de semiconductori.