Informaţii despre produs

Caracteristici

Capul integrează funcțiile necesare pentru măsurarea grosimei filmului subțire
Măsurarea reflectivității absolute de înaltă precizie prin microspectrometrie (grosime de membrană multiplă, constantă optică)
1:1 secundă de măsurare rapidă
Sisteme optice cu o gamă largă de lumină diferențială (UV până la infraroșu aproape)
Mecanismul de securitate al senzorilor de zonă
Ghid de analiză ușor, iar începătorii pot efectua și analize constante optice
Capul de măsurare independent pentru diverse cerințe de personalizare inline
Suport pentru diferite personalizari

Proiecte de măsurare:
Măsurarea reflectivității absolute
Analiza membranelor multi-strat
Analiza constantelor optice (n: refracție, k: coeficient de atenuare)

Exemple de măsurare:
Măsurarea grosimei membranei SiO 2 SiN [FE-0002]

Tranzistorii semiconductori transmit semnale prin controlul stării de conducere a curentului, dar pentru a preveni scurgerile de curent și fluxul de curent al unui alt tranzistor pe o cale arbitrară, este necesar să izolați tranzistorul și să îngropați o membrană de izolare. SiO 2 (dioxid de siliciu) sau SiN (nitrură de siliciu) poate fi folosit pentru membrane izolatoare. SiO 2 este folosit ca membrană izolatoare, în timp ce SiN este folosit ca membrană izolatoare cu o constantă dielectrică mai mare decât SiO 2 sau ca strat de blocare inutil pentru eliminarea SiO 2 prin CMP. Ulterior, SiN a fost eliminat. Pentru performanțele membranelor de izolare și controlul precis al procesului, este necesară măsurarea grosimei acestor membrane.

Măsurarea grosimei filmelor cu rezistență colorată (RGB) [FE-0003]

Structura ecranului LCD este, de obicei, așa cum se arată în imaginea din dreapta. CF are RGB într-un pixel și este un model foarte mic. În metoda de formare a membranei CF, curentul principal este procesul de acoperire a întregii suprafețe a sticlei cu un rezistent colorat pe bază de pigment, expunerea și expunerea acestuia prin fotografie și lăsarea doar a unei părți modelate în fiecare RGB. În acest caz, dacă grosimea unui rezistent colorat nu este constantă, va duce la deformarea modelului și la schimbarea culorii ca filtru de culoare, prin urmare, este important să gestionați valorile grosimei membranei.

Măsurarea grosimei membranei cu acoperire dură [FE-0004]

În ultimii ani, produsele care utilizează filme de înaltă performanță cu diferite funcții au fost utilizate pe scară largă și, în funcție de aplicație, sunt necesare și filme de protecție cu proprietăți precum rezistența la frecare, rezistența la impact, rezistența la căldură, rezistența la substanțe chimice a suprafeței filmului subțire. De obicei, stratul de membrană protectoare este formată cu o membrană cu acoperire dură (HC), dar în funcție de grosimea membranei HC, nu poate apărea rolul de membrană protectoare, deformarea membranei sau aspectul inegal și deformarea. Prin urmare, este necesară gestionarea grosimei membranei stratului HC.

Luând în considerare valoarea grosimei membranei pentru măsurarea rugosității suprafeței [FE-0007]

Când suprafața eșantionului prezintă rugozitate (rugozitate), rugozitatea suprafeței și materialul de grosime a aerului (aer) și a membranei sunt amestecate în proporția 1: 1, simulate ca "strat rugos", rugozitatea și grosimea membranei pot fi analizate. Aici se prezintă un exemplu de măsurare a rugosității suprafeței SiN (nitrură de siliciu) de câțiva nm.

Măsurarea filtrului de interferență utilizând modelul de rețea supercristalină [FE-0009]

Când suprafața eșantionului prezintă rugozitate (rugozitate), rugozitatea suprafeței și materialul de grosime a aerului (aer) și a membranei sunt amestecate în proporția 1: 1, simulate ca "strat rugos", rugozitatea și grosimea membranei pot fi analizate. Aici se prezintă un exemplu de măsurare a rugosității suprafeței SiN (nitrură de siliciu) de câțiva nm.

Materiale organice EL pentru măsurarea ambalajelor utilizând modele de strat non-interferent [FE - 0010]

Materialele organice EL sunt vulnerabile la oxigen și umiditate și pot fi deteriorate și deteriorate în condiții atmosferice normale. Prin urmare, trebuie sigilată imediat după formarea filmului cu sticlă. Aici este prezentată măsurarea grosimei membranei prin sticlă în stare de etanșare. Stilul si stratul mediu de aer utilizeaza modelul stratului non-interferent.

Măsurarea necunoscutului nk ultra-subțire utilizând analiza multiplă identică [FE-0013]

Materialul nk este necesar pentru a analiza valoarea grosimei membranei (d) prin adaptarea unei multiplicări minime de două. Dacă nk este necunoscut, atât d, cât și nk sunt analizate ca parametri variabili. Cu toate acestea, în cazul unui film ultrasubțire cu d de 100 nm sau mai mic, d și nk nu pot fi separate, astfel încât precizia va fi redusă și nu va fi posibil să se obțină un d precis. În acest caz, dacă mai multe eșantioane de d diferite sunt măsurate, presupunând că nk este același și analizate simultan (analiză multiplă identică), nk și d pot fi obținute cu o precizie ridicată și cu precizie.

Măsurarea grosimei filmului subțire al substratului cu coeficientul de interfață [FE-0015]

Dacă suprafața substratului nu este oglindă și are o rugositate mare, lumina măsurată este redusă din cauza difuziei și reflectivitatea măsurată este mai mică decât valoarea reală. Prin utilizarea coeficientului de interfață, datorită scăderii reflectivității pe suprafața substratului, valoarea grosimei membranei subțiri pe substrat poate fi măsurată. Ca exemplu, se prezintă un exemplu de măsurare a grosimei membranei unei membrane de rășină pe un substrat de aluminiu finit pentru păr.

Măsurarea grosimei acoperirii DLC pentru diferite utilizări

DLC (diamant-like carbon) este un material amorfic pe bază de carbon. Datorită caracteristicilor sale de duritate ridicată, coeficient de frecare scăzut, rezistență la uzură, izolare electrică, izolare ridicată, modificare a suprafeței și afinitate cu alte materiale, acesta este utilizat pe scară largă în diverse scopuri. În ultimii ani, cererea de măsurare a grosimei membranei a crescut, în funcție de diverse aplicații.

Practica obișnuită este de a efectua măsurări distructive ale grosimei DLC prin utilizarea microscopului electron pentru a observa secțiunea transversală a eșantionului de monitorizare pregătit. În schimb, interferometrul de grosime a membranei optice utilizat de Otsuka Electronics poate fi măsurat fără distrugere și cu viteză ridicată. Prin schimbarea intervalului de lungime de undă de măsurare, se poate măsura, de asemenea, o gamă largă de grosime a membranei, de la filmele extrem de subțiri la cele ultragroase.

Prin utilizarea propriului nostru sistem optic microscopic, nu numai probele de monitorizare pot fi măsurate, ci și probele cu forme. În plus, monitorul poate fi folosit pentru a analiza cauzele unor anomalii în timp ce verifică modul în care se efectuează măsurarea în timp ce verifică poziția de măsurare.

Suport pentru platforme de înclinare / rotație personalizate, care se potrivesc diferitelor forme. Poate fi măsurată în orice loc al eșantionului real.

Punctul slab al sistemului de grosime a membranei de interferență optică este faptul că nu este posibilă măsurarea exactă a grosimei membranei fără cunoașterea constantei optice a materialului (nk), ceea ce Otsuka Electronics a confirmat prin utilizarea unei metode analitice unice: analiza multipunctuală. Se poate măsura prin analiza simultană a probelor pregătite în prealabil cu grosime diferită. Se poate obține o precizie extrem de înaltă a nk în comparație cu metodele de măsurare tradiționale.
Calibrarea prin eșantioane standard certificate de NIST (Institutul Național de Standarde și Tehnologie din SUA) garantează trasabilitatea.