Microscopurile de inspecție Olympus Semiconductor/FPD MX63 și MX63L sunt optimizate pentru inspecția de înaltă calitate a chipurilor cu panouri de până la 300 mm, ecrane cu panouri plate, plăci de circuite și alte eșantioane mari. Designul lor modular vă permite să alegeți componentele care necesită personalizarea sistemului în aplicație. Microscopia de inspecţie Olympus Semiconductor/FPD în combinaţie cu software-ul de analiză a imaginilor Olympus Stream vă simplifică întregul flux de lucru, de la observaţii până la crearea rapoartelor.

Instrumente de analiză de frontieră

Capacitatea multifuncțională de observare a seriei MX63 oferă imagini clare și clare, astfel încât utilizatorii să poată detecta defectele în eșantioane în mod fiabil. Noile tehnologii de iluminat și opțiunile de captare a imaginilor din software-ul de analiză a imaginilor Olympus Stream oferă utilizatorilor mai multe opțiuni pentru a-și evalua eșantioanele și a-și documenta descoperirile.

Invisibilul devine vizibil: un amestec de observare și dobândire

Tehnologiile de observație hibride generează imagini de observație unice prin combinarea câmpului întunecat cu o altă metodă de observație, cum ar fi câmpul luminos, fluorescența sau polarizarea. Utilizatorii cu observații mixte pot vedea defecte dificil de văzut cu microscopul obișnuit. Iluminatorul cu LED-uri circulare pentru observația câmpului întunecat are o funcție de câmp întunecat direcțional, în care se luminează doar un cuadran la un moment dat. Acest lucru reduce haloul eșantionului și ajută la vizualizarea texturii suprafeței eșantionului.

Structura cipurilor semiconductore

Residuuri de lipică fotogravură pe cipuri semiconductore

Creați ușor imagini panoramice: MIa instantanee

Folosind alinierea imaginilor multiple (MIA), utilizatorii pot conecta imaginile rapid și ușor prin mutarea butonului KY în faza manuală, fără a fi necesară o platformă electrică. Software-ul Olympus Stream utilizează recunoașterea modelelor pentru a genera imagini panoramice, oferind utilizatorilor o viziune mai largă.

Crearea tuturor imaginilor de focalizare: EFI

Funcția de imagini cu focalizare extinsă (EFI) din fluxul Olympus capturează imagini din eșantioane, care se extind dincolo de adâncimea focală a țintei și le suprapun împreună pentru a crea o imagine cu focalizare completă. EFI poate fi executat manual sau electric pe axa Z și creează o diagramă de înălțime pentru vizualizarea structurii ușoară. De asemenea, imaginile EFI pot fi create offline în desktop-ul de streaming.

Capturarea zonelor luminoase și întunecate cu HDR

Folosind procesarea avansată a imaginii, HDR reglează diferențele de luminozitate în imagine pentru a reduce strălucirea. HDR îmbunătățește calitatea vizuală a imaginilor digitale, ajutând astfel la generarea rapoartelor profesionale.

De la măsurare la analiză

Măsurarea este esențială pentru controlul și inspecția calității și a proceselor. Având în vedere acest lucru, chiar și pachetul Olympus Stream de nivel de început include un meniu complet de funcții de măsurare interactive, în care toate rezultatele măsurătorilor sunt salvate într-un fișier de imagine pentru documentare ulterioară. În plus, soluția de materiale Olympus Flow oferă o interfață intuitivă, orientată spre fluxul de lucru, pentru analiza imaginilor complexe. Cu doar un clic pe un buton, sarcinile de analiză a imaginilor pot fi efectuate rapid și precis. Odată cu reducerea semnificativă a timpului de procesare a sarcinilor repetitive, operatorul se poate concentra pe inspecțiile de la îndemână.

Generarea rapoartelor

De obicei, crearea unui raport durează mai mult decât capturarea imaginilor și măsurarea. Software-ul Olympus Stream oferă o creare intuitivă a rapoartelor pentru a genera rapoarte inteligente și complexe repetate pe baza unui șablon predefinit. Editarea este simplă și rapoartele pot fi exportate în software-ul Microsoft Word sau PowerPoint. În plus, funcția de raportare a software-ului Olympus Stream permite mărirea digitală și preluarea imaginilor mărite. Fișierul de raportare are o dimensiune rezonabilă pentru a facilita schimbul de date prin e-mail.

Opțiuni de cameră independentă

Cu aparatele de fotografiat cu microscop DP22 sau DP27, seria MX63 devine un sistem independent avansat. Camera poate fi controlată printr-o cutie compactă care necesită doar un spațiu mai mic, ajutând utilizatorii să profite la maximum de spațiul laboratorului, capturând în același timp imagini clare și realizând măsurători de bază.

Suport pentru Cleanroom Conformity

Seria MX63 este concepută pentru a funcționa în camere curate și ajută la reducerea riscului de poluare sau deteriorare a eșantioanelor. Sistemul are un design ergonomic care ajută utilizatorul să fie confortabil, chiar și în timpul utilizării pe termen lung. Seria MX63 îndeplinește specificațiile și standardele internaționale, inclusiv Semi S2/S8, CE și UL.

Integrare opțională cu încărcatorul de cipuri - Sistemul AL120*

Încărcătorul de cipuri opțional poate fi conectat la seria MX63 pentru a transfera cipurile de siliciu și de semiconductori compuși de la bandă în casetă la faza microscopică fără a utiliza pințete sau bare. Performanțe excelente și fiabilitate permit inspecții macro eficiente față și spate, în timp ce încărcatorul contribuie la creșterea productivității laboratorului.

MX63 în combinație cu încărcatorul de cipuri Al120 (versiune 200 mm)*E120 nu este disponibil în EMEA.

Curățare rapidă

Seria MX63 îndeplinește inspecția cipurilor fără praf. Toate componentele motorizate au o structură de scut și tratamentul electrostatic este aplicat componentelor precum ramele de microscop, tuburile, aparatele respiratorii și altele. Aripile nasale motorizate se rotesc mai repede decât aripile nasale manuale, reducând timpul de inspecție, menținând în același timp mâinile operatorului sub cip, reducând potențiala poluare.

Proiectarea sistemelor pentru observații eficiente

Datorită combinației de ambariaj încorporat și butoane XY, clasa XY poate efectua simultan mișcări groase și fine în două faze. Această fază contribuie la eficiența observației, chiar și pentru eșantioane mari, cum ar fi cipurile de 300 mm.Gama largă de tuburi de observație înclinate permite operatorului să stea în poziție confortabilă sub microscop.

Acceptă toate dimensiunile cipurilor

Sistemul este echipat cu o varietate de tipuri de 150 - 200 mm și 200 - 300 mm de suporturi de wafer și plăci de sticlă. Dacă dimensiunea cipului se schimbă pe linia de producție, cadrul microscopului poate fi modificat cu un cost mai mic. Cu seria MX63, diferite etape pot fi utilizate pentru a găzdui liniile de verificare pe cipuri de 75 mm, 100 mm, 125 mm și 150 mm.

Controlul intuitiv al microscopului: confortabil și ușor de utilizat

Setarea microscopului este ușoară de utilizat pentru a ajusta și reproduce setările sistemului.

Găsiți repede focalizarea: Ajutor pentru focalizare

Inserarea unui ajutor de focalizare în calea optică permite o focalizare ușoară și precisă asupra mostrelor cu contrast scăzut, cum ar fi piesele goale.

Recuperarea ușoară a setărilor microscopului: hardware codificat

Funcția de codificare combină setările hardware ale seriei MX63 cu software-ul de analiză a imaginilor Olympus Stream. Metodele de observație, intensitatea iluminării și mărirea sunt înregistrate automat de software și stocate în imaginile relevante. Deoarece setările pot fi reproduse cu ușurință, orice operator poate efectua aceleași verificări de calitate cu un minim de instruire.

Controlul ergonomic pentru operare mai rapidă și mai confortabilă

Dispozitivul de control care schimbă obiectivul și reglează apendicul luminii este situat sub microscop, astfel încât utilizatorul nu trebuie să-și dea drumul butonului de focalizare sau să-și deplaseze capul de ochelari în timpul utilizării.

Observații mai rapide cu ajutorul managerului de intensitate a luminii și controlului automat al aperturii

În microscopul normal, fiecare observator trebuie să regleze intensitatea luminii și apertura. Utilizatorii MX63 pot seta intensitatea luminii și condițiile de apertură pentru diferite multiplicatoare de amplificare și metode de observare. Aceste setări pot fi recalate cu ușurință, ajutând utilizatorii să economisească timp și să mențină o calitate excelentă a imaginii.

Managerul intensității luminii

Intensitatea luminii obișnuite	Când schimbați multiplicatorul de mărire sau metoda de observare, imaginea devine prea luminoasă sau întunecată.
Managerul intensității luminii	Atunci când se schimbă un multiplicator de mărire sau o valoare de observație, intensitatea luminii este ajustată automat pentru a produce o imagine excelentă.

Controlul automat al aperturii

Controlul calității imaginii optice și digitale

Istoria Olympus în dezvoltarea opticii de înaltă calitate și a capacităților avansate de imagini digitale a dovedit o calitate optică excelentă și o înregistrare a microscopului care oferă o precizie excelentă a măsurării.

Performanțe optice remarcabile: control de diferență pre-undă

Proprietățile optice ale obiectivelor influențează direct calitatea imaginilor observate și rezultatele analizei. Obiectivul de mare mărire Olympus UIS2 este conceput pentru a minimiza diferențele de imagini pre-undă și pentru a oferi performanțe optice fiabile.

Bun în faţa undei rele (UIS2)

Temperatură de culoare consistentă: iluminat cu LED-uri albe de înaltă intensitate

Seria MX63 utilizează surse de lumină LED cu lumină albă de înaltă intensitate pentru iluminat reflectiv și transmisiv. LED-urile mențin o temperatură de culoare consistentă, indiferent de intensitate, pentru a asigura o calitate fiabilă a imaginii și o reproducere a culorii. Sistemul LED oferă materiale de iluminat cu eficiență ridicată și durată de viață lungă pentru aplicații științifice ale materialelor.

Măsurare exactă: calibrare automată

Similar cu microscopul digital, calibrarea automată este disponibilă atunci când se utilizează software-ul Olympus Stream. Calibrarea automată ajută la eliminarea variabilității umane în timpul procesului de calibrare, ceea ce duce la măsurări mai fiabile. Calibrarea automată utilizează un algoritm care calculează automat calibrarea corectă din mediile mai multor puncte de măsurare. Acest lucru minimizează foarte mult diferențele introduse de diferiți operatori și menține o precizie consistentă, îmbunătățind fiabilitatea verificărilor periodice.

Imagine complet clară: corectarea umbrelor imaginilor

Software-ul Olympus Stream este caracterizat prin corectarea umbrelor pentru a se adapta umbrelor din unghiurile imaginii. Atunci când este utilizată împreună cu setarea pragului de intensitate, corectarea umbrei oferă o analiză mai precisă.

Cip semiconductor (imagini binare)

Complet personalizabil

Seria MX63 este concepută pentru a permite clienților să aleagă o gamă largă de componente optice pentru a se adapta nevoilor individuale de inspecție și aplicații. Sistemul poate folosi toate metodele de observare. Utilizatorii pot alege, de asemenea, dintr-o gamă largă de pachete de analiză a imaginilor Olympus Stream pentru a satisface nevoile lor personale de colectare și analiză a imaginilor.

Cele două sisteme se adaptează la dimensiuni diferite de eșantion

Sistemul MX63 poate găzdui cipuri de până la 200 mm, în timp ce sistemul MX63L poate gestiona cipuri de până la 300 mm cu aceleași amprente mici ca sistemul MX63. Designul modular vă permite să personalizați microscopul în funcție de cerințele dvs. specifice.

Compatibilitate cu infraroșu

Obiectivele infraroșii pot fi realizate cu ajutorul obiectivelor infraroșii, ceea ce permite operatorului să detecteze fără deteriorare interiorul cipului IC ambalat și instalat pe PCB, utilizând proprietățile siliciului care transmite infraroșu. Tintele cu infraroșu 5X până la 100X pot fi corectate prin lungimi de undă vizibile în apropierea infraroșului.

Seria MX63 este utilizată în domeniile de aplicare ale microscopului de reflecție a luminii. Aceste aplicații reprezintă un exemplu al unor metode sistematice utilizate pentru inspecții industriale.

Infraroșu (IR) este utilizat pentru a găsi alte defecte ale cipurilor IC și ale dispozitivelor de siliciu pe sticlă.

Lumina polarizată este folosită pentru a dezvălui textura materiei și starea cristalului. Se aplică inspecției cipurilor și structurilor LCD.

Contrastul de interferență diferențială (DIC) este utilizat pentru a ajuta la vizualizarea diferențelor cu eșantioane mici. Este ideal pentru eșantioane inspections universitare cu diferențe mari, cum ar fi minute de cap magnetic, hard disk media, și cip-uri lustruite.

Câmpurile întunecate sunt utilizate pentru a detecta zgârieturi sau defecte mici pe eșantioane sau pentru a detecta eșantioanele cu oglinzi, cum ar fi cipuri. Utilizatorii de iluminat mixt pot vedea modelele și culorile.

Fluorescenţa este folosită în probele care emit lumină atunci când sunt iluminate cu filtre special concepute. Acesta este folosit pentru a detecta poluarea și reziduurile de rezistenți fotogenici. Iluminarea mixtă permite observarea reziduurilor de rezistenți fotogenici și a modelelor IC.

Această tehnică de observare se aplică mostrelor transparente, cum ar fi LCD-urile, materialele din plastic și sticla. Iluminarea mixtă permite observarea culorii filtrului și a modelelor de circuit.

Parametrii de configurare pentru soluția de microscop de inspecție Olympus Semiconductor/FPD MX63 / MX63L

		MX63	MX63L
Sisteme optice		Sistem optic UIS2 (corecție la distanță infinită)
Afișează Micro oglindă Mașină raft	Iluminare reflectantă	LED-uri, 12V100W halogen, 100W mercur Mod de iluminat: câmp luminos, câmp întunecat Apens luminos cu apertură electrică încorporată Modalități de observare: câmp luminos, câmp întunecat, interferență diferențială (DIC), polarizare simplă, fluorescență, infraroșu
	Lumină transmisivă	Lumină transmisivă: MX-TILLA sau MX-TILLB - MX-TILLA::Apendice de apertură NA0.5 - MX-TILLB: Apendice optică NA0.6 Sursa de lumină: LG-PS2 (lampă halogenă 12/V100 W) Mod de observare: câmp clar, polarizare simplă
	Focalizare	Distanță: 32 mm Curs de reglare pe rotație: 100 μm Scala mică: 1 μm Cu limiter superior pentru reglarea torsiunii pentru mânerele groase
	Limita maximă a sarcinii (inclusiv suport)	8 kg	15 kg
Perspectivă Ca cilindrul	Viziune largă (FN 22 mm)	Cea de-a treia: U-ETR4 Drept, înclinat: U-TTR-2 Trei observații inverse: U-TR30-2, U-TR30IR (observație în infraroșu) Obiectiv cu ochi invers: U-BI30-2 Înapoi, cu ochi înclinați: U-TBI30
	Viziune foarte largă （FN 26.5 mm）	MX-SWETTR: proporția spectrală 100%: 0 sau 0: 100%) Triochiul perpendicular și înclinat: U-SWETTR Spectralitate 100%: 0 sau 20%: 80%) Înapoi: U-SWTR-3
Convertoare obiective		Convertor electric cu șase găuri cu slot DIC: U-D6REMC Convertor cu cinci găuri cu slot DIC: U-P5REMC Convertor electric cu șase găuri cu slot DIC: U-D6BDREMC Convertor de câmp luminos și întunecat cinci găuri cu slot DIC: U-D5BDREMC Convertor de câmp luminos și întunecat cinci găuri cu slot DIC auto-centrare: U-P5BDREMC
Stasiunea de transport		Acționare integrată cu ambariaj, mâner dreapta coaxial: MX-SIC8R Distanța: 210 x 210 mm Zonă de transmitere: 189 x 189 mm Acționare integrată cu ambariaj, mâner dreapta coaxial: MX-SIC6R2 Distanța: 158 x 158 mm (cu lumină reflectată)	Acționare integrată cu ambariaj, mâner dreapta coaxial: MX-SIC1412R2 Distanța: 356 x 305 mm Zonă de transmitere: 356 x 284 mm
Greutate		Aproximativ: 35.6kg (microscop rack 26kg)	Aproximativ: 44 kg (microscop rack 28,5 kg)

Notă: Conținutul tabelului de parametri este prezentarea parametrilor principali, practicăîn bazanevoile sunt configurate.