Tehnologia fasciculului triionic

Componentele cu fascicul triionic sunt verticale față de suprafața laterală a eșantionului, astfel încât eșantionul (fixat pe paleta de eșantion) nu are nevoie de mișcări oscilante pentru a reduce efectul de proiectare / blocare, ceea ce, la rândul său, asigură o conducere eficientă a căldurii și reduce deformările termice ale eșantionului în timpul procesării.
Tehnologie
Fasciculul triionic se reunește în punctul central al marginii panoului, formând o suprafață de bombardare de 100 ° și taie spre eșantionul expus deasupra panoului (capătul superior al eșantionului este de aproximativ 20-100 μm mai înalt decât panoul), până când bombardarea ajunge la zona țintă interioară a eșantionului. Un nou tip de pistol ionic poate produce viteze de măcinare a fasciculului de ioni de până la 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, înălțime de tăiere de 50 μm). Sistemul unic Leica cu fascicule triionice oferă o secțiune de tăiere de înaltă calitate excelentă și o viteză ridicată și o suprafață de tăiere largă și adâncă, ceea ce economisește mult timp de lucru. Această tehnologie unică oferă secțiuni de tăiere de înaltă calitate cu dimensiuni de până la > 4 x 1 mm

Leica EM TIC 3X - Caracteristici inovatoare în design și operare

Fluxul ridicat, creșterea costurilor
››Obțineți secțiuni de tăiere de înaltă calitate cu dimensiuni de până la > 4 x 1 mm
››Design multi-probe pentru a găzdui trei probe într-o dată
Rata ridicată de măcinare ionică, materiale Si 300 μm / h, înălțime de tăiere de 50 μm, care poate îndeplini cerințele de debit ridicat de laborator
››Dimensiunile cele mai mari eșantioane pot fi găzduite de 50 x 50 x 10mm
››O varietate de suporturi de eșantioane ușor de utilizat și de înaltă precizie
››Instalarea eșantioanelor pe suport și reglarea poziției în raport cu panoul
››Manipulare simplă prin ecran tactil fără abilități speciale de operare
››Procesul de prelucrare a eșantioanelor poate fi monitorizat în timp real și poate fi observat prin oglindă sau camera HD-TV
› Iluminat cu LED pentru observarea ușoară a eșantioanelor și calibrarea poziției
›› Sistem de pompă de vid încorporat, decouplat, care oferă o viziune fără vibrații
›› Poate fi realizată o acțiune de îmbunătățire a căptușirii pe secțiunea de tăiere plană pregătită, adică tratamentul cu gravura cu fascicul ionic.
››Încărcarea sau descărcarea parametrilor și a programelor prin intermediul USB
››Pentru aproape orice eșantion de material
››Cu o masă de eșantionare înghețată, tabla și temperatura eșantionului pot fi scăzute până la -150°C

O varietate de suporturi de eșantioane

Este potrivit pentru probe de aproape toate dimensiunile și pentru o gamă largă de utilizări. Utilizând un singur suport pentru eșantioane, se poate efectua pregătirea mecanică prealabilă (Leica EM TXP) până la tăierea fasciculului ionic (Leica EM TIC 3X), precum și inspecția SEM, înainte de a fi plasată în cutia de stocare a eșantioanelor pentru inspecția ulterioară.

Îmbunătățirea căptușirii

După tăierea fasciculului de ioni, nu este nevoie să scoateți eșantionul, cu același suport de eșantion, de asemenea, eșantionul poate fi îmbunătățit pentru a îmbunătăți efectul de căptușire, care poate consolida topologia înainte de faza diferită a eșantionului (cum ar fi granița cristalină)

Precizie înaltă

Acum, structurile detaliate din ce în ce mai mici din eșantion atrag treptat atenția oamenilor. Și obținerea secțiunilor prin tăiere, cum ar fi obținerea unei structuri mici de găuri TSVia, a devenit ușor de luat. Toate stațiile de eșantionare sunt proiectate pentru a atinge o precizie de calibrare a poziției eșantionului de ±2 μm. Nu numai că precizia de control a mesajelor de eșantionare poate realiza o calibrare atât de precisă a poziționării țintei, dar sistemul de observare poate observa și detaliile eșantionului de mărime minimă de aproximativ 3 μm pentru a realiza o poziționare precisă a țintei. Pentru a ajuta la observarea mai bună a eșantioanelor atunci când sunt poziționate, sursele de lumină circulare cu LED-uri cu 4 segmente sau iluminatul coaxial cu LED-uri sunt de mare ajutor pentru a ajuta utilizatorii să obțină imagini clare de la oglindă sau camera HD-TV.
Deoarece pompa de vid este încorporată în interiorul instrumentului, nu mai este necesar să se elibereze un spațiu separat. Datorită designului de decouplare al pompei de vid, câmpul de vedere nu este perturbat de vibrațiile generate de pompa de vid în timpul pregătirii eșantionului.