Scopul întreținerii instrumentelor ICP:
1) detectarea în timp util a defecțiunilor instrumentelor;
2) depistarea riscurilor ascunse ale instrumentelor, detectarea în timp util și propunerea de măsuri preventive;
3) prin întreținerea instrumentului, îmbunătățirea sensibilității instrumentului și prelungirea duratei de viață a instrumentului;
Creșterea stabilității instrumentului pentru a asigura exactitatea datelor de testare;
Conținutul întreținerii instrumentelor ICP:
1) Curățați praful de suprafață al plăcilor, ventilatorilor și instrumentelor
2) Curățați nebulizatorul, camera de nebulizare, conul de lumină și torța
3) Înlocuiți apa de răcire și curățați conductele
4) Accesorii de tuburi de vid, comutatorul de etanșare a valvei electromagnetice reglează poziția șuciturii fasciculului
5) Verificarea performanței pompei de vid, înlocuirea uleiului de pompă, anelul de etanșare, seta moleculară
6) Verificați că nu există scurgeri de gaz între cilindrul de gaz și ICP, calificarea circuitului este determinată
7) Verificarea gazului instrumentului, senzorul de gaz auxiliar, curățarea
8) Întreținerea generatorului de praf de înaltă frecvență RF, întreținerea camerei de vid
9) Răspunde problemelor de operare ale utilizatorului