I. Prezentare generală a echipamentului
Cuptorul fără oxigen de înaltă performanță poate fi tratat termic la temperaturi de până la 500 ° C în atmosfere cu concentrații de oxigen de până la 500 ppm. Acest lucru face ca seria să fie ideală pentru degrasificarea MLCC și LTCC, precum și pentru o varietate de tratamente termice antioxidante. Cuptorul fără oxigen de înaltă temperatură utilizează o structură cameră proprietară și o tehnologie de etanșare care oferă o etanșare excelentă la aer și o uniformitate la temperatură, asigurând în același timp o stabilitate și o reproducibilitate mai ridicate. În același timp, mecanismul de răcire extern circulat de apa de răcire poate fi răcit rapid fără a afecta atmosfera din cuptor, scurtând astfel timpul de prelucrare.
II. Domeniul de aplicare
Se aplică pentru întărirea wafer-urilor semiconductore (fotogravură PI, întărire PBO), ambalaje IC (substrat de cupru, argint, siliciu, rășină epoxidică), coacere a substratului de sticlă, prelucrare cu ardere de înaltă precizie etc.
| Domeniul de aplicare |
Scopul încălzirii |
Încălzire obiect |
| Componente electronice |
Degrăsire (sinterizare de adezivi), întărire |
Materiale ceramice / plăci, MLCC (capacitor ceramic multi-strat), LTCC (ceramică de coarbură la temperatură scăzută), senzor de O2 ceramic, nucleu magnetic de feroxid, FPC (circuit imprimat flexibil), filtru de zgomot în mod comun, termistor |
| Materii prime de precizie |
Degrăsire, întărire, ardere, sinterizare, uscare |
Wafere, folii de siliciu, ceramică cu carbură de siliciu, aspiratoare electrostatice, nitrură de aluminiu, lentile optice, substraturi flexibile, baterii de reîncărcare, materiale pentru electrozi, fii (fii de cupru), catalizatori, forjate |
Parametrii produsului
Modelul |
YH-OXY-500C |
Stabilitatea de lucru |
Temperatură normală - 500°C |
Conținut limitat de oxigen |
Mai puţin de 50 ppm |
Modalitate de răcire |
Răcire cu apă |
Dimensiuni | |||
Dimensiuni de lucru |
H600 * W600 * D600mm |
||
Studioul | |||
Numărul de ateliere |
Studio individual cu 4 etaje |
||
Configurare internă |
Configurat cu 4 straturi din oțel inoxidabil, înfășurate cu plăci de rețea din oțel inoxidabil și spațiu reglabil |
||
Sistem de încălzire aeriană | |||
Rata de încălzire |
Rata de încălzire 8-10 ℃ / min, timp termostat controlabil |
||
Rata de răcire |
Răcere la 500 ° C până la 100 ° C ≤ 50 de minute (în funcție de temperatura apei de răcire, timpul variază) |
||
Dispozitiv de încărcare cu azot |
Controlul automat al procesului de umplere cu azot pentru a asigura incalzirea produsului in medii fără oxigen sau cu concentratii scazute de oxigen pentru a preveni oxidarea produsului |
||
aparate electrice | |||
Dispozitiv de protecție împotriva supratemperaturii |
Termocontrol inteligent independent, întrerupe automat alimentația de încălzire atunci când detectarea reală a temperaturii depășește setarea protectorului de supratemperatură, dublă protecție |
||
Sistem de protecție |
Detectarea fazelor lipsite, auto-diagnosticare, protecție împotriva scurgerilor, protecție împotriva supratemperaturii, stocare autonomă a parametrilor de urgență, auto-diagnosticare a senzorului, protecție împotriva supraîncălzirii, protecție împământare, protecție împotriva supraîncălzirii ventilatorului, control de acces baterie, protecție împotriva setărilor operatorului |
||
Utilizarea mediului |
Condiții de mediu: temperatura între 5 ~ 40 ° C: umiditate ≤ 85% R.H. 电源: AC380V și 50Hz Mediul de utilizare: fără vibrații puternice, fără efecte puternice ale câmpului magnetic, fără gaze de coroziune, fără praf. Presiunea aerului 86 ~ 106 Ka Sursă de azot: 0.8MPA, 100L / min Distanța de perete ≥500mm |
||

