În multe aplicații de gaze ultrapure, cum ar fi industria semiconductorilor, umiditatea reziduală din gaze este esențială pentru funcționarea corectă a procesului. Măsurarea continuă a umidității a fost dintotdeauna o dificultate și necesită analizatoare complexe de umiditate sau tehnici de analiză scumpe. Cu toate acestea, instrumentele MISSEL au lansat pe piață o soluție simplă, economică și destul de eficientă pentru măsurarea online a punctului de rouă, cu o limită inferioară uimitoare de -120 ° C (echivalentul a mai puțin de 1 ppb).V-ul). Pura Transmitter se bazează pe mulți ani de experiență în producția și verificarea senzorilor de punct de rouă cu impedanță, combinând materiale industriale standard și procese de fabricație pentru a crea primul transmisor de preț redus pentru industria de producție a semiconductorilor și aplicații de gaze ultrapure. Pune în evidență Limita inferioară de măsurare -120°C punct de rouă (1 ppb)V-ul) Stabilitate de măsurare, repetabilitate bună Dispozitiv de eșantionare foarte integrat Ieșiri analogice și digitale Instalare ușoară Interfață de proces VCR Design compact și compact Unitate de afișare/alarmă opțională
Indicatorii tehnici
Senzori Tipul senzorului Senzor de umiditate din ceramică Dimensiune -120 ~ -40°C Punct de rouă (verificat la -100 ~ -40°C) Precizie ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (estimare) Rezoluţie 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C presiune minim 10-9 torr; maxim 24 MPa Fluxul de gaze 1 ~ 5 Nl / min electrică Alimentare electrică De obicei 24 V DC, minim 10 V ~ maxim 28 V, curent maxim 25 mA Ieșire Ieșire 4-20 mA, intervalul de corespondență poate fi reglat prin software dedicat, intervalul de reglare de la 1 la 80 ° C (disponibil ca standard) Sarcina maximă = 100 Ω + 50 Ω x (V de alimentare -8) Eroare de ieșire Eroarea de ieșire standard este următoarea: 23 mA = defecțiune a senzorului; 20 mA = limita superioară; 4 mA = limita superioară Proprietăți mecanice Carcasă senzor Oțel inoxidabil, 0,1-0,2 Ra µm Porturi de conexiune aeriene Premium sau OEM: Interfață VCR de ¼' m Pura Sensor: Interfață VCR de ½' m Configurare instalare Premium sau OEM: 120.00mm lungime, etanșare de capăt a portului de căi de aer. Nu este necesară rezervarea unui gol în conducte 2 găuri de montare M4 x 0,7, adâncime de 7 mm pe bază cu o distanță de 20 x 20 mm Tipul Pura Sensor: pentru porturile de înregistrare video de ½' furnizate de utilizator Dimensiuni Premium sau OEM: 120 x 35 x 150 mm Senzor Pura 型: 132 x 35 mm Greutate Premium sau OEM: 450 g Senzor Pura 型: 180g ambalaj Pura: ambalaj dublu strat, etanșare umplută cu gaze inerte Pura OEM sau Pura Sensor: ambalaj cu un strat Toate accesoriile opționale: Ambalaj independent Tipul senzor are o carcasă de protecție proprie pe chipul senzorului pentru transport și operare