Senzorul de presiune din seria de safir este format din elemente izolatoare monocristaline de safir, rigiditatea puternică nu produce întârzieri, oboseală și vierme; Safirul are proprietăți foarte bune de elasticitate și izolare (sub 1000 ° C), nu este sensibil la schimbările de temperatură și are proprietăți de lucru bune chiar și la temperaturi ridicate. Proprietățile de rezistență la radiații ale zafirului sunt extrem de puternice; Senzorul de siliciu-zafir folosește tehnologia de extindere a siliciului pentru a crește un strat de siliciu subțire pe membrana de zafir, apoi folosind procesul de fotografie pentru a genera un pod de siliciu, folosind un proces de doping greu pentru a genera rezistența la tensiune. Podul de siliciu crescut pe zafir nu are secțiuni p-N, ceea ce face ca acesta să fie insensibil la radiații și, în același timp, poate produce produse de temperatură mai ridicate fără a fi afectate de limita superioară a temperaturii de legare. Procesul de doping greu poate reduce poluarea de două ori a podului de siliciu la temperaturi ridicate. Astfel, zafirul poate fi utilizat în diferite condiții complexe și în cazuri de mediu. Senzorul are o structură bi-membrană și o structură bi-membrană: produsele cu structură bi-membrană sunt formate din membrane de măsurare și membrane de primire din aliaj de titan. Membrana de primire este o membrană de zafir de sudare topită la temperatură ridicată pe membrana de aliaj de titan, conectarea metalică dure între membrana de măsurare și membrana de primire, conectată împreună prin sudare topită sau sudare cu laser. Presiunea măsurată este transmisă la membrana de primire. Sub efectul presiunii, membrana de primire a aliajului de titan produce deformații, după ce deformația este percepută de elementele sensibile la siliciu și zafir, ieșirea podului se va schimba, iar amploarea schimbării este proporțională cu presiunea măsurată. Circuitul de pod transformă semnalul de dezechilibru al podului în ieșirea semnalului de tensiune.

◆ Gamă largă de măsurare a temperaturii

Erori de temperatură foarte mici

◆ Precizie ridicată, stabilitate ridicată

◆ Greutate ușoară, rentabilitate ridicată