Algoritmul de control asigură un control stabil al divergenței prin controlul raportului de debit și, în același timp, utilizează tehnologia de optimizare a controlului HORIBA STEC pentru a controla presiunea ascendentă a FS-3000. În plus, chiar dacă raportul de divergență se schimbă, algoritmul de control poate realiza un răspuns rapid la divergență.

• Îmbunătățirea scalabilității și a performanței de întreținere. FS-3000 poate separa până la 15 canale prin procesarea semnalului de mare viteză. În cazul unei defecțiuni a MFC, trebuie doar să înlocuiți aparatul defect.

• Specificațiile necesare pentru răspunsul flexibil FS-3000 suportă o gamă largă de gaze, inclusiv gaze amestecate. În plus, FS-3000 suportă interfațe de utilizator precum RS-485 și DeviceNet.