Senzorul de presiune subțire CYG513 a fost conceput pentru distribuirea câmpurilor de presiune de suprafață în modele experimentale în tunelurile eoliene în cercetarea aerodinamică. Este potrivit în special pentru aplicații în care modelele sunt subțiri și nu pot fi instalate senzori micro-sonde cu perforații. Montați senzorii extrem de subțiri direct sau săpați găuri puțin adânci pe suprafața modelului. Cablul său flexibil extrem de subțire poate fi fixat direct pe suprafața modelului. Prin urmare, în principiu nu afectează câmpul de flux testat.

Componentele sensibile la presiune ale CYG513 sunt proiectate și fabricate cu ajutorul tehnologiei avansate MEMS. Elementele sensibile la presiune de rezistență a siliciului integrate tridimensionale, prelucrate pe două fețe, cu precizie liniară excelentă, injecție ionică, coerența ridicată a podului de tensiune Whiston realizat cu tehnologie de fotografie fină, face ca acesta să aibă o variație foarte mică a temperaturii, prelucrare micromecanică, coroziune heterosexuală de precizie și tehnologie de legare a anozilor de siliciu-sticlă face ca structura sensibilă la forța de film subțire de siliciu să aibă o sensibilitate ridicată, o stabilitate excelentă, performanțe dinamice excelente și în același timp o grosime mai subțire. Grosimea totală a structurii integrate sensibile la forță și a structurii de întărire a substratului este de doar 0,9 mm, ceea ce facilitează obținerea unor senzori subțiri cu dimensiuni finale mai subțiri.

CYG513 este modul de măsurare a presiunii suprafatale, cu intervale standard de presiune de 2, 5, 10, 25, 40, 60, 100, 160, 250, 400, 600, 1000kpa

CYG513 are o formă circulară subțire. Diametrul minim este ф10mm, grosimea este de 4 mm, presiunea de referință poate fi condusă atât în deschiderea din spate (513G), cât și în partea de conducere laterală (513D), cablul de conducere este un fir flexibil de 5 fir, lungimea de 1m, la punctul de terminare de 1m este conectat un echilibrator de compensare a podului fabricat din plăci PCB, grosimea firului flexibil este de 0,15 mm, lățimea de 4 mm. (De asemenea, cablul de ecranare multi-core Φ2.5mm este disponibil)

CYG513 are o compatibilitate excelentă cu mediul datorită presiunii inverse a componentelor sensibile și poate fi utilizat și în scopuri de dinamică a fluxului de apă. Are o zonă de temperatură de lucru destul de largă și caracteristici de răspuns dinamic foarte bune, care pot fi utilizate în benzi de frecvențe de până la zero și până la zeci de mii de Hz.

1. parametrii indicatorilor de performanță

2, ieșire pe scară completă: valoarea minimă 30mv valoarea tipică 80mv valoarea maximă 130mv

Impedanța de intrare și ieșire: valoarea minimă 3 kΩ valoarea tipică 5 kΩ valoarea maximă 7 kΩ

Curent de lucru de intrare: 1mA (sursă de curent constant)

Intervalul de temperatură de lucru: -55 ℃ ~ 120 ℃

Intervalul de temperatură de compensare: -10 ℃ ~ 80 ℃

Capacitatea de supraîncărcare: 200% din gama nominală

Sensibilitate la accelerație: <0,001% FS/g

9, Dimensiuni grafice: