Senzorul de presiune subțire CYG511 a fost conceput pentru distribuirea câmpurilor de presiune de suprafață în modele experimentale în tunelurile eoliene în cercetarea aerodinamică. Este potrivit în special pentru aplicații în care modelele sunt subțiri și nu pot fi instalate senzori micro-sonde cu perforații. Montați senzorii extrem de subțiri direct sau săpați găuri puțin adânci pe suprafața modelului. Cablul său flexibil extrem de subțire poate fi fixat direct pe suprafața modelului. Prin urmare, în principiu nu afectează câmpul de flux testat.

Componentele sensibile la presiune ale CYG511 sunt proiectate și fabricate cu ajutorul tehnologiei avansate MEMS. Elementele sensibile la presiune de rezistență de siliciu integrate tridimensionale, prelucrate pe două fețe, cu precizie liniară excelentă, injecție ionică și tehnologie de fotografie fină, coerența ridicată a podului de tensiune Whiston face ca acesta să aibă o variație foarte mică de temperatură, prelucrare micromecanică, coroziune heterosexuală de precizie și tehnologia de legare directă a siliciului face ca structura sensibilă la forța de film subțire de siliciu să aibă o sensibilitate ridicată, o stabilitate excelentă, performanțe dinamice excelente și în același timp o grosime ultra subțire. Grosimea totală a structurii sale integrate sensibile la forță și a structurii de întărire a substratului este de doar 0,6 mm, ceea ce favorizează obținerea unui senzor subțire cu dimensiuni finale mai subțiri.

CYG511 este modul de măsurare a presiunii absolute, cu intervale standard de presiune de 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa.

CYG511 are o formă circulară subțire. Diametrul nominal este ф8 mm, grosimea este de 2,2 mm, cablul de conducere este un fir flexibil de 5 fir, lungimea este de 1 m, echilibratorul de compensare a podului fabricat din plăci PCB la punctul final de 1 m, grosimea firului flexibil este de 0,15 mm, lățimea de 4 mm.

CYG511 este adaptat pentru gaze uscate complet necorozive și neconductive datorită presiunii frontale cu componente sensibile. Are o zonă de temperatură de lucru destul de largă și caracteristici de răspuns dinamic foarte bune, care pot fi utilizate în benzi de frecvențe de până la zero și de până la mii de Hz. Dacă mediul este complicat și conținutul de umiditate este ridicat, puteți utiliza CYG511S care acoperă suprafața și electrozii protejați cu gel de silicon (gel de silicon își reduce performanța dinamică de răspuns frecvent). Produsul CYG511P, care folosește materiale organice de acoperire cu film subțire, datorită grosimei filmului de protecție de um, pierderea mai mică a răspunsului de frecvență dinamic, ciclul special mai lung și costurile mai mari.

1, parametrii indicatorilor de performanță:

2, ieșire pe scară completă: valoarea minimă 30mv valoarea tipică 80mv valoarea maximă 130mv

Impedanța de intrare și ieșire: valoarea minimă 3 kΩ valoarea tipică 5 kΩ valoarea maximă 7 kΩ

Curent de lucru de intrare: 1mA (sursă de curent constant)

Intervalul de temperatură de lucru: -55 ℃ ~ 120 ℃

Intervalul de temperatură de compensare: -10 ℃ ~ 80 ℃

Capacitatea de supraîncărcare: 200% din gama nominală

Sensibilitate la accelerație: <0,001% FS/g

9, Dimensiuni grafice: