Micro senzorul de presiune CYG503 cu diametrul exterior nominal de 3 mm este conceput pentru măsurarea unei distribuiri dinamice excelente a presiunii în experimentele de cercetare aerodinamică care necesită dimensiuni mici de instalare, fără a perturba câmpul de flux și răspuns dinamic. Se aplică pentru măsurarea performanțelor aerodinamice, cum ar fi distorsiunea presiunii de intrare a căilor respiratorii ale motorului, respirația etc.

Componentele sensibile la presiune ale CYG503 sunt proiectate și fabricate cu ajutorul tehnologiei avansate MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Elementele sensibile la presiune cu rezistență la presiune din siliciu integrate tridimensionale și prelucrate pe două fețe au o precizie liniară excelentă, o injecție ionică și o coerență ridicată a podului de tensiune Whiston realizat cu tehnologia de fotografie fină, ceea ce îi face să aibă o variație foarte mică a temperaturii, o prelucrare micromecanică a corpului și o structură sensibilă la presiune cu film subțire de siliciu format de coroziune heterogeneă de precizie, ceea ce îi face să aibă o sensibilitate ridicată la presiune și o scară radială mai mică de până la 1,5 mm. Cipurile avansate miniaturizate sensibile la presiune utilizează o tehnologie de ambalaj fără stres și sunt etanșate într-o bază de instalare miniaturizată și un capilar din oțel inoxidabil special conceput. O cavitate de presiune de referință a senzorului de presiune absolută este o cavitate de vid sigilată în spatele cipului, iar o cavitate de presiune de referință a senzorului de suprapresiune comunică cu atmosfera prin intermediul unui capilar din oțel inoxidabil mai subțire din spate. De asemenea, pentru a facilita utilizatorului de a obține o referință de presiune stabilă cu un tub de nailon fin pentru a-l conduce la stabilirea presiunii aerului.

Senzorul de presiune miniaturizat CYG503A este în formă de sondă, cu diametrul extern standard de Ф3.5mm și lungimea de 18mm, iar CYG503AS cu coloană scurtă special creată scurtează lungimea la 12mm. Intervalul opțional este presiunea absolută de 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 și 4000kpa.

Microsenzorul de presiune CYG503G este în formă de sondă, cu diametrul extern standard de Ф3,5 mm, lungimea de 18 mm și lungimea capilarelor de extracție a înapoi de presiune de 12 mm. Intervalele opționale sunt 160, 250, 400, 600, 1000, 1600 și 2500 kpa.

Brevetul de proiectare și fabricare al CYG503 a fost autorizat de brevetul național de invenție, numărul de brevet este:.3.

Senzorul de presiune pentru instalare cu micro-șurub CYG504 este un derivat al CYG503 cerut pentru ușurința unor utilizatori, presiunea absolută și presiunea metrometrică sunt disponibile. Dimensiunile sale sunt prezentate în imagine.

CYG503、 Datorită presiunii frontale a elementelor sensibile, senzorul tip 504 este potrivit numai pentru gaze uscate cu medii necorozive și neconductive. Dar are o zonă de temperatură de lucru destul de largă și o frecvență dinamică foarte bună. Frecvențe dinamice disponibile de până la zero și până la zeci de mii de herți. Protecția sporită a suprafeței îmbunătățește aplicabilitatea mediului, dar în detrimentul caracteristicilor de răspuns frecvent.

1. parametrii indicatorilor de performanță

2, ieșire pe scară completă: valoarea minimă 30mv valoarea tipică 80mv valoarea maximă 130mv

Impedanța de intrare și ieșire: valoarea minimă 3 kΩ valoarea tipică 5 kΩ valoarea maximă 7 kΩ

4, curent de lucru de intrare: 1.5mA (tip de tensiune metrică) 1mA (tip de tensiune absolută) (sursă de curent constant)

Intervalul de temperatură de lucru: -55 ℃ ~ 120 ℃

Intervalul de temperatură de compensare: -10 ℃ ~ 80 ℃

Capacitatea de supraîncărcare: 200% din gama nominală

Sensibilitate la accelerație: <0,001% FS/g

9, Dimensiuni grafice: