Spectrometrul de masă Atonarp Aston ™-Furnizor global

Camer? 702, etajul 7, cl?direa 36, nr. 1888, strada Xinjinqiao, districtul nou Pudong, Shanghai, 201206

Spectrometrul de masă Atonarp Aston ™ Specificații tehnice:

Unelte universale pentru controlul proceselor în timp real, rezistente la gaze corozive, rezistente la condensare
Platformă de analiză moleculară in situ pentru fabricarea de semiconductori care oferă date operabile în timp real
Sursă de ionizare plasma, fără fir, mai durabilă
Integrare completă cu unelte de producție în masă
Aston ™ Analizator de spectru de masă de procesCa o platformă puternică, poate înlocui o varietate de unelte tradiționale, oferind un nivel de control fără precedent, inclusiv fotogravură, etări și depozitare a conductorilor și conductorilor, curățare a camerelor, potrivire și dizolvare a camerelor.

Aston ™ Analizator de spectru de masă de procesParametrii tehnici

Tip	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
Modelul	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
Separarea de calitate	Bară de nivel patru
Sistem de vid	Pompe moleculare	Pompe moleculare Pompe cu membrană	Pompe moleculare	Pompe moleculare Pompe cu membrană	Pompe moleculare	Pompe moleculare Pompe cu membrană
Detector	FC /SEM
Gama de calitate	2-285		2-220		2-285
Rezoluţie	0.8±0.2
Limită de testare	0.1 PPM
Temperatura de lucru	15-35“℃
puterea	350 W
Greutate	15 kg
Dimensiuni	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ Aplicații: Dezvoltarea majoră a controlului și optimizării proceselor de semiconductori, îmbunătățirea producției, debitului și eficienței proceselor de fabricație a semiconductorilor
Aston ™ Este un spectrometru de masă compact on-line cu un nou design robust și durabil pentru monitorizarea și controlul gazelor în aplicațiile de fabricație a semiconductorilor și de control al proceselor industriale, care combină precizie cantitativă ridicată și timp real cu robustețe și fiabilitate în producție, cum ar fi analiza de detectare a gazelor de eșapament cu pompe uscate pentru semiconductori, care permite monitorizarea online și diagnosticarea.
CVD / ALD: tranziția oxid-nitrură și analiza componentelor
Etch/ALE End Point :<0.3%
Camera Matching: Identificarea moleculelor de urmărire
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

Dacă aveţi nevoie de mai multe informaţiiAtonarp Aston ™ Spectrometru de masă onlinePentru detalii sau discuţii, vă rugăm să consultaţi următoarele detalii de contact:
Shanghai Betong: Domnişoară Ye Taiwan Betong: Domnişoară Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 (numărul lui WeChat) M: +886-939-653-958

În prezent, unele mărci sunt agenți de cooperare sinceră, cei interesați sunt bineveniți să contacteze domnișoara Betong Ye din Shanghai 1391-883-7267
Shanghai Betong Toate drepturile rezervate!